【FY2018_KY006】圧電デバイスコース《短期型》

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■目的、対象者:

 

 圧電デバイスは、携帯電話やカーナビゲーション等に搭載されているジャイロセンサやインクジェットプリンターの液滴吐出機構などに幅広く応用されていています。圧電材料としては従来からジルコン・チタン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3(通称:PZT)が幅広く応用されてきました。しかしながら鉛は有毒であり、近年鉛を使用しない日本発のカリウムナトリウムニオブ酸(K,Na)NbO3(通称:KNN)の開発が盛んになってきており、一部企業では量産化に着手しています。

本コースにおいては、圧電デバイス初心者を対象に3日間に亘って圧電材料の基礎、圧電薄膜形成、デバイス化に関する講義およびスパッタ装置によるKNN成膜を実施し、その薄膜の結晶構造解析、圧電特性を調べることにより圧電薄膜の基本技術習得を目指します。

■募集人数: 3

 

■期間: 平成30年9月12日(水)~14日(金)

 

実習:計3日間(2時間程度の講義を含む)

 

■会場:

京都大学ナノテクノロジーハブ拠点

(京都市左京区吉田本町 吉田キャンパス内 工学部物理系校舎3階327号および実験室)

http://www.mnhub.cpier.kyoto-u.ac.jp/access.html

 

■内容:

第1日目  9月12日(水) (10時30分から開始)

① 全体スケジュール説明、安全教育 

② スパッタ装置によるPZT成膜 (成膜の待ち時間内に講義)

 

第2日目  9月13日(木)

③ X線回折装置による結晶構造解析

④ SEMによる薄膜構造観察

⑤ 上部電極形成(真空蒸着装置) 

 

第3日目  9月14日(金)

⑥ 強誘電体評価システムによるPEループ測定

⑦ データ整理およびまとめ

 

 

■受講料: 

アライアンス内の博士課程(後期)学生、若手研究者:無料(旅費の補助を予定)

一般:250,000円(授業料)

 

■連絡先:京都大学ナノテクノロジーハブ拠点

(kyodai-hub@saci.kyoto-u.ac.jp、電話:075-753-5231

FY 2018 Nanotech Career-up Alliance

Piezoelectric Materials Device Course <<short term type>>

 

■ Purpose and intended persons:

Piezoelectric Pb(Zr,Ti)O3 thin films has been actually used for the MEMS device such as gyro sensors and inkjet printers. However the use of toxic lead has restricted in the world, development of lead free piezoelectric thin films has been anticipated.  In this curse, participants take a lecture of basis of piezoelectric materials, and practical experiment of (Ka,Na)NbO3 thin films deposition by sputtering, evaluation technique by X-ray diffractometer and PE hysteresis measuring system.

 

■ Number of participants: 3persons (maximum)

■ Time and period: From Setember 12 (Wed) to 14 (Fri), 2018

■ Venue: Kyoto University Nanotechnology Hub (* Yoshida Campus, Kyoto University)

     http://www.mnhub.cpier.kyoto-u.ac.jp/access.html

 

■ Schedule:

Day 1 – Setember 12 (Wed)  (10:30 am start)

[1] Guidance

[2] PZT thin films deposition by RF magnetron sputtering

We will lecture on basic study on piezoelectric material during waiting time of sputtering(2h).

 

Day 2 – Setember 13 (Thu)

[3] Crystal structure analysis by X-ray diffractometer

[4] Observation of surface and/or cross section of PZT thin film by SEM

[5] Deposition of upper electrode by thermal evaporator

 

Day 3 – Setember 14 (Fri)

[6] Evaluation of PE-hysteresis loop of PZT thin film by piezoelectric measuring system.

[7] Summarizing

 

■ Tuition:

Free of charge for the doctoral students and young researchers belonging to CUPAL Alliance institutions

Others: 250,000 yen (* Not including consumption tax)

 

■ Contact: Kyoto University Nanotechnology Hub

(kyodai-hub@saci.kyoto-u.ac.jp  Phone: +81-75-753-5231)