【FY2016_KY007】フォトニックコース《短期型》

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■目的、対象者: 

 本コースにおいては、2日間に亘ってガラス表面に回折光学素子(Diffractive Optical Elements; DOE)を作製することを通してフォトリソグラフィーとドライエッチングを用いた微細加工技術を学ぶ実習を行います。また、回折光学素子の基礎的な設計法を学び、オリジナルの回折光学素子を作製、評価を行うことで 微細加工の基本技術習得を目指します。

 対象者として、DOEの応用を検討している研究者・技術者、微細加工の基礎を学びたい研究者・技術者などが挙げられます。

[補足]

 本コースでは、DOEの位相パターンの計算方法の基本的な考え方を学べること、石英ガラス製のDOEの製造プロセスの一部を体験できること、少なくとも4種類の強度分布が得られるDOEを作製できることなど、多くのことを2日間に亘って学ぶことができるだけでなく、オリジナルのDOEを手に入れることができるという大きな収穫があります。

 

■募集人数: 3

 

■期間: 平成28年12月8日(木)、9日(金)

     実習:2日間(講義を混ぜながら実験を行う)

 

■会場: 京都大学ナノテクノロジーハブ拠点

 

■内容:

1日目

① 回折光学素子・ホログラムの設計方法の講義と位相パターンの作成

② フォトリソグラフィーによるレジストパターン形成

第2日目

③ ドライエッチングによる回折光学素子の作製

④ 回折光学素子の評価と現象の解説

 

■受講料: 

アライアンス内の博士課程(後期)学生、若手研究者:無料(旅費の補助を予定)

一般:250,000円

 

■連絡先: 京都大学ナノテクノロジーハブ拠点

 (kyodai-hub@saci.kyoto-u.ac.jp、電話:075-753-5231 )